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                  熱門關鍵詞：生物芯片，壓力泵，注射泵，微流控實驗室組建
                  
        
                  
        
                  
        	
        
                  
    
                  

                  




                  
    
                  
        
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                  URE-2000/35型紫外光刻機
                  
                
                  簡要描述：URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制。
                  
                
                    
                    
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                  • 更新時間：2021-07-08
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                  品牌其他品牌價格區間面議
                  儀器種類微流控芯片系統應用領域醫療衛生,環保,電子
                  
                            
                                          
                    
                  
                
                  
                
                  
                    
                   
                  產品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機
                  主要技術指標：
                  曝光面積：100mm×100mm 
                  分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠） 
                  對準精度：±0.8μm 
                  大膠厚：300μm（SU8膠） 
                  掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch 
                  樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)； 
                  照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍） 
                  汞燈功率：350W（直流） 
                  掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° 
                  URE-2000/35型紫外光刻機技術特點：
                  創新采用三柔性支點實現高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實現自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照明；可連續設定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
                  
                
                  
                
                
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7
            
                    
		
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                  安徽智微科技有限公司
                  
                    
                  地址：安徽省合肥市經開區尚澤大都會A座2214
                  
                    
                  郵箱：1053185136@qq.com
                  
                    
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